在真空腔制造工艺中，焊接是易出现漏洞的部位之一。在焊接过程中常见的外观及其它缺陷，例如未熔合、未焊接、夹渣、气孔、裂纹、内应力等，都是真空系统存在的缺陷。为减小焊接缺陷，方便检测，超高真空要求焊接部件尽量在真空面进行。空气侧焊法采用间歇强化法，制造阶段对焊接量分别进行检测，在装配前进行校正。因为某些零件的截面尺寸较小，内壁焊接受限，部分零件只能进行大侧焊，焊接必须一次焊。为防止二次焊接中产生有害空隙，要求真空腔体有较好的双面焊接成形。
另外，由于压力差、振动和热循环等原因，连接处的应力和应变可能导致焊接裂纹，破坏焊接或焊接腐蚀，并且可能造成漏点。所以，在这种情况下，焊缝的泄漏率必须满足技术要求。
目前，超高真空腔体加工广泛采用不锈钢。不锈钢板有很好的焊接性能和焊接工艺，为什么要提出超高真空容器焊接要求？其原因是超高真空容器泄漏率低，对焊接密封性要求严格，微小的泄漏检测困难，补充困难，排除困难。试验结果表明，在非超高真空容器中，压力检测泄漏是常用的方法，难以满足超高真空容器的泄漏率要求。即，在压力检测泄漏检测不到泄漏点时，用氦质谱检测泄漏，同时还可以发现漏孔，无法满足泄漏率要求。对超高真空容器，应采用高灵敏度的氦质谱来检测泄漏。
为确保焊接符合超高真空容器泄漏率的要求，不锈钢焊接工艺必须解决两大难题。
焊接过程中，低熔点共晶聚集在焊接中心线上，并在热应力作用下形成，防止热裂纹的发生。真空腔体加工要防止碳化物的形成，造成脆硬组织裂纹。
二是尽可能减少焊接缺陷。
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