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真空腔体加工的检测方法有哪些

2021-12-27 16:06:49

真空腔体加工


真空腔体加工的检测方法有哪些?

1.氦质谱检漏。

该方法在真空检漏领域中是一项必不可少的技术。该装置可用于真空检漏,具有检漏效率高、操作简单、仪器反应灵敏、精度高、不易受到其它气体干扰等优点。氦作为气体泄漏指示器,是一种基于质谱原理的气密性检测装置。

该仪器包括分析仪、离子源、分析器、收集器、抽气系统以及电子元件。由光丝射出的电子在质谱室中来回摆动,与室内气体和氦气通过漏孔相互碰撞,使它们变成一个正离子。在处理真空腔时,这些氦离子进入磁场,在洛伦兹力的作用下发生偏转,形成圆轨道。通过改变磁场,不同的离子能接受同一离子。在氦质谱泄漏检测中,氦喷雾和氦吸收是两种真空腔体加工常用方法。

2.真空封口的检验。

疑点用真空泥浆密封。在此期间,真空加工工厂要注意观察真空度的变化。若真空浆体粘附后真空迅速升高,脱除后明显下降,即为漏油。但是,在实际测试中很少使用这种方法。

3.探测真空计的泄漏方法。

真空腔体加工有些真空仪的读数与电离真空计、热电偶真空仪等气体种类有关。如果有合适的气体或液体作泄漏指示,这些真空表就成为检测器。在涂布机上经常使用真空计,这也是在实践中经常使用的检漏方法。

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