真空室是保持真空状态的容器。真空腔体的加工应考虑体积、材料和形状。
高真空系统的主要结构材料是不锈钢。300系列不锈钢(表1)为低碳钢，含10%~20%Cr，具有良好的耐腐蚀性，排气，无磁性，焊接性能好，电导率低，导热能力强，可在-270~900℃工作。
真空腔体加工的焊接是制造过程中的一个重要环节。氩弧焊主要用于焊接，避免金属与空气中的氧发生化学反应，从而影响焊接质量。氩焊是在靠近钨极处喷射保护气氩，防止其熔化后的高温金属氧化。
高空腔氩弧焊原理为内焊，焊接面位于真空侧，避免漏焊。真空室内外不允许双重焊接和双重密封。
真空室内壁加工过程中吸收大量气体分子和有机物，成为影响真空度的放气源。要获得超高真空，必须在150~250℃的高温下进行烘焙，以促进材料表面和内部气体的快速释放。所述烘焙方法为：在腔外壁上绕有加热卷绕，将铠装加热丝固定在壳体的外部壁上，或者直接将壳体放置在烤箱里。加温时，在箱体中加入铝箔，以防止热损失，并均匀地增加热腔。
真空腔体加工的烘焙过程中真空度会改变，而烘烤则是卷曲和加热。真空度约为10~3Pa时，加热带开始逐渐通电加热，空腔在150℃下长时间烘烤。关闭离子泵，加热烘焙离子泵。此时，真空腔只经过分子泵和前级泵。当空腔温度升高时，吸附器表面的气体分子，如水汽，释放量大，真空度急剧下降。随着烘烤时间的延长，气体释放量减少，真空度增加。停机时，切断加热带电源和离子泵的烘烤电源，当炉腔温度上升时，排出气钛泵。钛精泵除气是指控制升华温度Ti加热时的Ti升华温度。钛级泵除气处理的目标是将吸附在Ti线表面的气体分子和其他可能的污染物去除，从而保证泵的正常运行。钛升华泵脱气后，启动离子泵和钛精泵，强化真空排气。随排气强度的增加，系统真空度迅速增加。
新型真空腔体加工一般要一周左右，可以适当缩短重复烘烤时间。为了提高真空测量的精度，停炉后应采用真空除气。有充足的真空泵及充足的烘烤时间，可使烤制后真空度大大提高。
1cm2大气压约产生1kgf压力，直径20cm的法兰压力为1t。由于其结构的特殊性，在筒体和球腔内压力分散，腔壁厚度为2~4mm，不变形。方腔侧板应承受负荷压力，增大壁厚或设置加强筋，以防止变形。方腔的重量一般大于圆柱、球腔，且成本高。
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