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真空腔体加工过程抽气管的设计原则

2022-01-26 16:01:13

      真空腔体内抽气管 的设计原则 。

      在为一个真空腔体加工 过程 选择 真空泵 时,工艺 室和泵之间 的抽气 管道 可能 和泵的选择 一样 重要 。 为了 使真空腔体 的抽气 速率 达到 较高,需要 使用 直径 尽可能 大的直线 抽气 管道 (长度 短)和管道 。好像 很简单 ,但是 这里有很多 因素 需要 考虑 。 事实上 ,如果我们从物理学 的角度 来看 ,我们可以明确 哪些 是关键因素 。

       在稳定 状态 下,如果 抽气 管道 中没有 气源 (泄漏 )或气体 减少 (冷凝 ),抽气 管道 任何 截面 的质量流量 必须 相同 。 简单 来说 ,进入 工艺 室的气体 必须 从泵出。

已知 气体 摩尔 流量 为M(公斤 /摩尔 ),抽气 速率 为S(立方米 /秒),压力 为P(帕),温度 为T(开尔文 ),质量流量计 算如下 :

      (公斤 /秒)=(M*P*S)

      Ro =通用 气体常数。

      对于 大多数真空腔体加工抽气 系统 来说 ,气体 温度 (T)在抽气 管道 中不会 显著 降低 ,并且 可以合理 假设 为恒定 。

      真空腔 阀固溶 及时效处理 。

       真空阀 固溶处理 :指将合金 加热 到高温 单相 区域 保持 恒温 ,使过剩 相完全 溶解 到固溶体 中,然后 快速 冷却 ,从而 获得 过饱和 固溶体 的热处理工艺 。 固溶处理 的目的 :主要是钢和合金 的塑性 和韧性 ,真空阀 准备 沉淀 硬化 处理 。

      真空阀门的时效性 处理 :可分为 自然 及时性 和人工 及时性 两种 。 自然 及时性 是将铸件 放置 在露天 场地 半年 以上,然后 慢慢 形成 ,从而 消除 或减少 残余应力 。 人工 及时性 是将铸件 加热 到550 ~650 ℃进行 去应力退火,比自然 及时性 节省时间 ,去除 残余应力 。 一些 合金 淬火 形成 过饱和 固溶体 后,将其真空阀 期放置 在室温 或稍高的适当 温度 下,以提高 合金 的硬度 、强度 或电磁 性。 这种 热处理工艺 称为 及时处理 。


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