LOWE线腔体加工常用的清洗方法
1、放电清洗
放电清洗一般用于高真空、超高真空腔体清洗中.放电清洗的效果取决于电机资料、几何形状及其与外表的联系.利用电子轰击气体造成解吸以及某些碳氢化合物的去除.
2、氮气清洗
氮气清洗主要是利用了氮气在资料外表的吸附热小、吸留时刻短,容易被抽走的特性,用氮气冲刷被污染的真空体系,同时抢占水气等其他气体分子的粘附空间,缩短真空体系的抽气时刻.
影响线腔体加工真空绝缘水平的主要因素
真空度闪现了空隙击穿电压和气体压强之间的联系。由图能够看到真空度高于10-2Pa时，击穿电压基本上不再跟着气体压力的下降而增大，由于气体分子碰撞游离现象已不复兴效果。当气体压力从10-2Pa逐渐升高时(真空度下降)，击穿强度逐渐下降，以后又随气压的而。从曲线上能够看出真空度高于10-2Pa时其耐压强度基本上坚持不变。这就标明，真空灭弧室的真空度在10-2Pa以上时完全能够满意正常的运用需求。
