真空腔加工的加热方法分为内部加热和外部加热。外部加热是在腔外加热，通过腔壁传热，通过热辐射传热。内部加热直接在真空腔内加热。与内部加热相比，外部加热滞后，内部加热的温度控制精度比外部加热更准确，所以我们通常会选择内部加热。
真空腔加工加热器的选择也非常重要。一般选择安装方便的扣板加热板进行内部加热。扣板加热板表面为镜面不锈钢板，比直接从真空腔壁抛光更有优势，更有利于热辐射和热传导。一般来说，真空腔是一种常规的矩形，热辐射加热方法不能合理地覆盖整个腔的空间，因此效果不理想。实验证明，在真空腔的正上、正下、左右两侧安装一套加热板加热，并通过面对面的热辐射加热。
真空腔加工设备采用上、下、左、右加热方法，比一路加热复杂得多，这也是温度控制的难点。因此，采用PID调节温度控制，室内设置温度控制偶，可以很好地控制室内真空温度。主要产品：非标准铝合金真空腔、涂层腔、真空炉、PVD系列涂层腔、不锈钢真空腔加工、配套真空管等高真空、超高真空腔、不锈钢真空腔、铝合金真空腔质量，并通过质量标准体系认证。航空航天、科研、核电、镀膜、真空炉、能源、医药、冶金、化工等行业均采用真空氦质谱检漏仪出厂。
