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真空腔体加工定制

真空腔体加工定制

  • 所属分类:真空腔体加工
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  • 发布时间:2021-12-29 09:43:09
  • 产品概述

真空腔体加工


真空室是保持真空状态的容器。真空腔体的加工应考虑体积、材料和形状。

高真空系统的主要结构材料是不锈钢。300系列不锈钢(表1)为低碳钢,含10%~20%Cr,具有良好的耐腐蚀性,排气,无磁性,焊接性能好,电导率低,导热能力强,可在-270~900℃工作。

真空腔体加工的焊接是制造过程中的一个重要环节。氩弧焊主要用于焊接,避免金属与空气中的氧发生化学反应,从而影响焊接质量。氩焊是在靠近钨极处喷射保护气氩,防止其熔化后的高温金属氧化。

高空腔氩弧焊原理为内焊,焊接面位于真空侧,避免漏焊。真空室内外不允许双重焊接和双重密封。

真空室内壁加工过程中吸收大量气体分子和有机物,成为影响真空度的放气源。要获得超高真空,必须在150~250℃的高温下进行烘焙,以促进材料表面和内部气体的快速释放。所述烘焙方法为:在腔外壁上绕有加热卷绕,将铠装加热丝固定在壳体的外部壁上,或者直接将壳体放置在烤箱里。加温时,在箱体中加入铝箔,以防止热损失,并均匀地增加热腔。

真空腔体加工的烘焙过程中真空度会改变,而烘烤则是卷曲和加热。真空度约为10~3Pa时,加热带开始逐渐通电加热,空腔在150℃下长时间烘烤。关闭离子泵,加热烘焙离子泵。此时,真空腔只经过分子泵和前级泵。当空腔温度升高时,吸附器表面的气体分子,如水汽,释放量大,真空度急剧下降。随着烘烤时间的延长,气体释放量减少,真空度增加。停机时,切断加热带电源和离子泵的烘烤电源,当炉腔温度上升时,排出气钛泵。钛精泵除气是指控制升华温度Ti加热时的Ti升华温度。钛级泵除气处理的目标是将吸附在Ti线表面的气体分子和其他可能的污染物去除,从而保证泵的正常运行。钛升华泵脱气后,启动离子泵和钛精泵,强化真空排气。随排气强度的增加,系统真空度迅速增加。

新型真空腔体加工一般要一周左右,可以适当缩短重复烘烤时间。为了提高真空测量的精度,停炉后应采用真空除气。有充足的真空泵及充足的烘烤时间,可使烤制后真空度大大提高。

1cm2大气压约产生1kgf压力,直径20cm的法兰压力为1t。由于其结构的特殊性,在筒体和球腔内压力分散,腔壁厚度为2~4mm,不变形。方腔侧板应承受负荷压力,增大壁厚或设置加强筋,以防止变形。方腔的重量一般大于圆柱、球腔,且成本高。

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